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磨料生產技術支持

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研磨硅片所用金剛砂的分選系統及分選方法介紹

瀏覽次數: 發布時間:2014/03/22

  本文介紹一種金剛砂分選方法及分選系統:金剛砂分選方法包括將金剛砂和水混合成原液流;篩分原液流,過濾大粒徑金剛砂,分選得到分選液流;將分選液流進行攪拌后沉淀,得到分流液流;將沉淀后的分流液流進行分層分裝。金剛砂分選系統包括混合金剛砂和水形成原液流的混合裝置;與混合裝置連接分選原液流的分選裝置;分選裝置連接分流裝置;分流裝置連接分裝裝置,本文介紹的分選系統可分選出相近粒徑的砂粒,采用分選后的砂粒,在研磨過程中不易造成硅片表面某點劃傷或損壞,從而提高了硅片良品率。

  硅片的研磨通常是采用天然金剛砂或人造砂通過與水及助磨劑按照一定的比例配合,再通過研磨機上下研磨盤的正反方向運動,使硅片通過介質(研磨液)與磨盤三者之間的摩擦,從而達到磨削的目的。

  現有金剛砂生產方式主要是采用碾壓或球磨機破碎,得到的粒度參差不齊,粒度分散較大。經檢測,W14規格金剛砂,粒度分布為:7-l0um≤8.4%,10-14um≥76.6%,14-20um≤15%,平均粒徑13.5um,最大粒徑20um,而大粒徑的砂粒在研磨過程中,使研磨盤在壓合運轉過程中最先接觸硅片表面,這樣極易將硅片表面某點劃傷或損壞,形成坑洞性白點,造成良品率下降。

  為了解決上文所述問題,提高硅片良品率,采用的金剛砂分選方法步驟為

  (a)混合:將金剛砂和水混合成原液流;

  (b)分選:篩分原液流,過濾大粒徑金剛砂,分選得到分選液流;

  (c)分流:將分選液流進行攪拌后沉淀,得到分流液流;

  (d)分裝:將沉淀后的分流液流進行分層分裝。

  采用的分選系統如圖

金剛砂分選系統

  該金剛砂分選系統包括混合金剛砂和水形成原液流的混合裝置,與混合裝置連接分選原液流3的分選裝置;分選裝置連接分流裝置,分流裝置連接分裝裝置。

  混合裝置包括攪拌桶2,攪拌桶2內可設攪拌裝置,攪拌裝置可選用攪拌機1;分選裝置包括用于篩選原液流3的分選篩5、位于分選篩5下端的分選桶8,分選篩5可選用振動篩,振動篩由振動電機6和振動彈簧7帶動分選篩5振動,混合裝置的出料口置于分選篩5的上部;分流裝置包括盛裝分選液流9的沉淀桶12和在沉淀桶12內進行攪拌的攪拌機11;分選桶8與沉淀桶12連通;所述分裝裝置包括盛裝細砂粒的溢流桶18和合格砂粒的分流桶16,溢流桶18與沉淀桶12的上部連通,分流桶16與沉淀桶12的下部連通;攪拌桶2下部設有一帶閥門的第一液流管道4與分選篩5連接;分選桶16的下部設有帶閥門的第二液流管道10與沉淀桶12連接;沉淀桶12的上部設有一帶閥門的溢流管道14與溢流桶18連接,沉淀桶12的下部設有的一帶閥門的第三液流管道15與分流桶16連接。將所述分選篩的網格容小于16um的砂粒通過,可過濾掉大粒度的金剛砂,以后分選出適于研磨硅片的金剛砂。


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